無塵凈化工程就是為了控制產(chǎn)品(例如硅晶片等)與空氣接觸的空氣潔凈度和溫濕度，使得產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間內(nèi)生產(chǎn)。這個空間的設(shè)計施工過程可稱為凈化工程。無塵凈化工程可分為亂流式和層流式。

1.亂流式。

空氣通過空調(diào)箱經(jīng)風道送至潔凈室內(nèi)的空氣過濾器，通過潔凈室的兩側(cè)壁板或高樓層的回風。風向不是直線運動的，表現(xiàn)為不規(guī)則的亂流或旋渦狀態(tài)。該型號適合1000-100,000級潔凈室等級使用。

優(yōu)勢：結(jié)構(gòu)簡單.系統(tǒng)建設(shè)成本低，擴大潔凈室相對容易，在一些特殊用途場所，可同時使用無塵工作臺，提高了潔凈室等級。

缺陷：因亂流而產(chǎn)生的微塵顆粒在室內(nèi)空間內(nèi)不容易排出，容易污染制程產(chǎn)品。此外，如果系統(tǒng)停止運轉(zhuǎn)后再啟動，欲達到需求的清潔度，往往要花費相當長的時間。

2.層流式。

多層氣流均勻地流動，空氣由覆蓋率滿滿的濾清器進入室內(nèi)，由上層地面或兩邊的隔墻板進行回風。本系列適用于潔凈室需要定較高等級的環(huán)境使用，一般其潔凈室等級為Class1~100。其類型可以分為兩類：

(1)水平層流式：水平空氣自濾器的單方向吹出，通過對邊墻的回風系統(tǒng)回風，塵埃隨著風向排放到室外，一般在下流側(cè)污染比較嚴重。

優(yōu)勢：結(jié)構(gòu)簡單，運行一小段時間就能轉(zhuǎn)化為穩(wěn)定。

缺陷：成本較亂，內(nèi)部空間不大，不利于擴展。

(2)垂直分層型：房間頂棚完全覆蓋ULPA過濾器，空氣從上向下吹去，可以達到更高的潔凈度，在加工過程中或員工所產(chǎn)生的灰塵可以迅速排放到室外，不會影響到其他工作區(qū)域。

優(yōu)勢：管理方便，運行啟動時間短，就能達到穩(wěn)定狀態(tài)，不容易對操作狀態(tài)和操作人員產(chǎn)生影響。

缺陷：構(gòu)造費用較高，彈性使用空間很難，天花板吊架占有相當大的空間，維修濾芯更換比較麻煩。復合物：復合式是將亂流和層流混合或同時使用，可以提供局部的超潔凈空氣。